盛美上海交付首台KrF工艺前道涂胶显影设备,科创半导体ETF(588170)开盘涨超3%,盛美上海涨超9%!
截至2025年9月24日 09点41分,上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨3.93%,成分股神工股份上涨18.12%,盛美上海上涨9.10%,有研硅上涨8.90%,京仪装备,沪硅产业等个股跟涨。科创半导体ETF上涨3.80%, 冲击3连涨。最新价报1.4
截至2025年9月24日 09点41分,上证科创板半导体材料设备主题指数强势上涨3.93%,成分股神工股份上涨18.12%,盛美上海上涨9.10%,有研硅上涨8.90%,京仪装备,沪硅产业等个股跟涨。科创半导体ETF上涨3.80%, 冲击3连涨。最新价报1.4
【盛美上海:近期推出的首款KrF工艺前道涂胶显影设备已交付中国头部逻辑晶圆厂客户】财联社9月23日电,盛美上海在互动平台表示,公司于7月28日宣布对其UltraCwb湿法清洗设备进行了重大升级。湿法刻蚀过程中质量传递效率的提高可防止副产物在晶圆微结构内积聚,从